Barna ble fløyet hjem i et militærfly fredag og satt under medisinsk tilsyn, opplyser det franske utenriksdepartementet.
– Beslutningen ble tatt i lys av situasjonen til disse svært små barna, som er spesielt utsatt, skriver utenriksdepartementet.
Alle de returnerte barna er under fem år. Mødrene deres er døde, mens fedrene deres er døde eller savnet, opplyser en diplomatkilde.
Den franske regjeringen var i kontakt med barnas franske slektninger i forkant av returen. Flere barn kan bli returnert, men ingen mødre vil få lov å komme tilbake, legger kilden til.
Den franske presidenten Emmanuel Macron sa onsdag at den franske regjeringen har valgt en humanitær tilnærming til barna, men at «holdningen til voksne krigere og jihadister som fulgte IS til Midtøsten, ikke er endret».
Frankrike har vært klar på at franske statsborgere som har kjempet for IS i Syria eller Irak, må stilles for retten lokalt. I likhet med andre europeiske land har det imidlertid vært et spørsmål knyttet til hva landet skal gjøre med enker og barn av franske jihadister som er drept i Syria eller tatt til fange der.